“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”國家科技重大專項“300mm晶圓勻膠顯影設備研發”任務圓滿完成，突破了193nm光刻工藝超薄膠膜均勻塗敷等多項關鍵核心技術，成功研制出具有自主知識產權的300mm晶圓勻膠顯影設備考核測試機和上線示範應用機，並在項目實施期間銷售5台勻膠顯影設備。

博寧高速點膠機13年不懈堅持    成就行業先鋒品牌

      標誌著我國前道芯片制程領域用塗膠顯影設備的國產化又邁出了重要的一步，不僅填補了國內技術空白、打破國外長期壟斷，也為我國前道芯片制程塗膠顯影設備進入前段市場打開了突破口。 據研發人員介紹，“該項目成果產品的成功應用，將大大降低客戶採購成本和對國外設備的依賴性，價格較國外同類產品低20%到30%，企業獲得的售後技術支持也更加給力。”  

      目前，該項目共性技術可成功輻射應用於高端封裝、LED等技術設備領域，對該類設備產能和穩定性具有極大的提升作用。

   博寧電子科技有限公司——13年專注高速點膠機及配件         

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